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客制化模拟试验1. 测试环境符合比使用设备的洁净室或洁净区至少干净一个ISO N级（参照ISO14644-1等级）。2. 气流速度垂直速度的指导范围符合在3m/s至0.5m/s的范围内。3. 温度执行范围符合18°C至25°C内。4. 湿度执行范围符合30%RH至70%RH。5. 评估高颗粒浓度particle的测量位置。6. 评估哪些位置应包括在最终测量。
解决方案
| 6.2.2 Requirements and considerations | 要求和注意事项 |
| 6.2.3 Representative mode of operation | 执行方式的代表性 |
| 6.2.4 Considerations for the test environment | 测试环境的注意事项 |
| 6.2.5 Determination of the test environment | 确定测试环境 |
| 6.2.6 Approximate identification of HPC location（s） | 粗略HPC位置的标示 |
| 6.2.7 Precise determination of HPC location（s） | 精确确定HPC位置 |
| 6.2.8 Suitability measurement（s） | 适宜性测量 |
| 6.2.9 Data processing | 数据处理 |
| 6.2.10 Reference to ISO 14644-1 classification system | 参考ISO 14644-1分类 |
| 7 Documentation | 文献资料 |
| 8 Statement on cleanroom suitability | 洁净室适用性声明 |
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